超高分辨冷場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡
儀器名稱:超高分辨冷場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡
品牌: 日立
型號(hào):SU9000II
產(chǎn)地:日本
儀器介紹:
一.儀器特點(diǎn):
1. 內(nèi)透鏡物鏡設(shè)計(jì),像差小,可實(shí)現(xiàn)超高倍觀察(SE分辨率:0.4nm@30kV),低電壓成像能力優(yōu)異(SE分辨率:1nm@1kV);
2. 全場(chǎng)的冷場(chǎng)發(fā)射電子槍,具有Mild Flash技術(shù);
3. 采用樣品桿進(jìn)樣,快速更換樣品,高效穩(wěn)定;
4. STEM和EDS性能優(yōu)異,也可選配電子衍射和EELS。
二.主要用途:
兼具了掃描電鏡和部分透射電鏡的功能,主要應(yīng)用在半導(dǎo)體、納米材料、催化劑等領(lǐng)域。